Главная / Состав АТУ / НИУ «МИЭТ»

Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»

НИУ «МИЭТ»

основан в 1965 году

Контакты

тел.: (499) 731-27-36

факс: (499) 710-22-33

e-mail: rector@miet.ru

сайт: www.miet.ru

адрес: 124498, г.Москва, г.Зеленоград, площадь Шокина, д.1

Беспалов Владимир Александровичректор
Беспалов
Владимир Александрович

дата рождения: 01 октября 1958 года

Принят в состав Ассоциации
решением Совета АТУ от 28 апреля 1993 года

Свидетельство №22

Фото здания

Фото здания


 

Направления подготовки и специальности

 

01.03.04 Прикладная математика
09.03.01 Информатика и вычислительная техника
09.03.03 Прикладная информатика
09.03.04 Программная инженерия
10.03.01 Информационная безопасность
11.03.01 Радиотехника
11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
11.03.03 Конструирование и технология электронных средств
11.03.04 Электроника и наноэлектроника
12.03.04 Биотехнические системы и технологии
20.03.01 Техносферная безопасность
22.03.01 Материаловедение и технологии материалов
27.03.04 Управление в технических системах
38.03.02 Менеджмент
45.03.02 Лингвистика
54.03.02 Дизайн

 

01.04.04 Прикладная математика
09.04.01 Информатика и вычислительная техника
09.04.03 Прикладная информатика
09.04.04 Программная инженерия
11.04.01 Радиотехника
11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
11.04.03 Конструирование и технология электронных средств
11.04.04 Электроника и наноэлектроника
11.04.04 Электроника и наноэлектроника
12.04.04 Биотехнические системы и технологии
22.04.01 Материаловедение и технологии материалов
27.04.02 Управление качеством
27.04.04 Управление в технических системах
38.04.02 Менеджмент
45.04.02 Лингвистика
54.04.01 Дизайн

 

 


 

Научно-исследовательская инфраструктура

Центры коллективного пользования

  • Микросистемная техника и электронная компонентная база
    перечень оборудования

    — 4-х кан. установка хим. осаждения из газ. фазы при пониж. давлении и плазм. активации SVFUR-PEH4

    — 4-х канальная печь SVFUR-AH4-1 . компания SVCS

    — 4-х канальная печь SVFUR-AH4-2 . компания SVCS

    — 4-х канальная установка хим.осаждения из газовой фазы при пониж.давлении SVFUR

    — Автомат разварки выводов 64000 G5

    — Вакуумная печь

    — Вакуумная электроннолучевая система для исследования морфологии, элементного состава и формирования рисунка изделий микросистемной техники на базе растрового электронного микроскопа JSM-6490LV

    — Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр TOFSIMS-5-100 (IonTOF)

    — Высоковакуумная низкотемпературная система для исследования нанорельефа, электростатических, магнитных и тепловых свойств наноструктур методами ACM/CTM/MCM PlasmoScope-2M

    — Двулучевая система высокого разрешения FEL Quanta 3D FEG DEMO

    — Дифрактометр многофункциональный Rigaku SmartLab

    — Зондовая установка для тестирования микросхем в составе пластин UF200A TOKYO

    — Зондовая установка контроля электрических параметров Cascade Summit 12K

    — Камера климатическая программируемая Espeс MC-811P

    — Кластерная установка плазмохимического травления диэлектрических слоев

    — Комплект блоков и оснастки IE350 X-Max20 (Premium) для проведения энергодисперсионного микроанализа для электронного микроскопа JEOL JSM-6490LV

    — Комплект блоков и оснастки MK3 COOLSTAGE для проведения экспериментов при пониженных и повышенных температурах для растрового электронного микроскопа

    — Комплект блоков и оснастки XeDraw 2 для управления пучком и прецизионной засветки фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа

    — Контрольно-измерительный стенд для воспроизведения рельефа поверхности объекта и обеспечения высококачественного 3-х мерного компьютерного изображения (Оптический профилометр)

    — Лазерный конфокальный микроскоп VL 2000 DХ (Lasertech)

    — Линия герметизации корпусов методом роликовой шовной сварки с вакуумной печью и возможностью корпусирования в гелиевой среде

    — Микроскоп МИКРО2001-01

    — Оже-микрозонд PHI-670xi (Physical Electronics) в составе Специализированного программно-технического комплекса коллективного пользования для количественного элементного 3D анализа изделий нано- и микросистемной техники

    — Оптический микроскоп Vistec lNM100

    — Оптический микроскоп Vistec lNM100/DFC290 с цветной цифр.камерой

    — Оптический микроскоп Vistec lNM100/DFC290 с цветной цифр.камерой

    — Оптический микроскоп Vistec lNM200 UV высокого разрешения

    — Оптический микроскоп VL2000D высокого разрешения

    — Программно-аппаратный комплекс Vistec для проведения процессов с фотошаблонами размером 7 дюймов

    — Программно-аппаратный комплекс ДМТ-518 (Электроникс)

    — Программно-технический комплекс коллективного пользования для проектирования и испытаний систем-на-кристалле и сенсоров физических, биологических и химических (установка измерения поверхностного сопротивления quad pro)

    — Профилометр Alpha-Step D120 в составе Специализированного программно-технического комплекса коллективного пользования для количественного элементного 3D анализа изделий нано- и микросистемной техники

    — Проходная камера CK-581 (Multitest Elektronische System)

    — Рентгеноскопическая цифровая система контроля микросхем с функцией томографии

    — Система бесконтактного измерения температуры и теплового анализа SC5700 M (FLIR System)

    — Система лазерного разделения пластин со структурами, формируемыми по технологии 3D-сборки

    — Система обрезки и формовки выводов 5000L-F-3A-F-1A/4 Fancort Industries, Inc.

    — Система по изучению магнитооптического эффекта Керра Neoark BH-PI7892-KI

    — Система реактивно-ионного травления и обработки поверхности фотошаблона Corial 300S с дополнительными опциями

    — Система электрохимического формирования слоев металла в структурах 3D сборки

    — Сканирующее зондовое устройство для исследования морфологии, тепловых и магнитных полей изделий микросистемной техники на базе атомно-силового микроскопа Smart SPM фирмы AIST-NT

    — Сканирующий спектральный эллипсометр HORIBA UVISEL 2

    — Спектральное устройство для исследования оптических характеристик многослойных тонкопленочных структур на базе эллипсометра AutoSE фирмы Horiba

    — Стенд измерения и контроля параметров аналоговых микросхем и устройств ДМТ-219

    — Сухожаровой термошкаф

    — Технологический комплекс жидкостного травления и химической обработки кремния Mercury style (SCR) в составе: установки жидкостного травления SCP (9 ед.) и кислотные процессоры SCR Mercury style (2 ед.)

    — Технологический комплекс фотолитографии и оптического контроля EVG 150 в составе: установки контактной фотолитографии МА-150Е BSA, установки контактной фотолитографии и совмещения подложек МА6/ВА 6, установки контактной фотолитографии МА-150Е BSA, установ

    — Установка гидрообработки разделенных пластин

    — Установка для акустических исследований объемных структур KSI v-350lm

    — Установка для зондового контроля и анализа микросхем PM5

    — Установка для ионного травления и полировки Fischione Instruments Model 1060 SEM Mill в составе Специализированного программно-технического комплекса коллективного пользования для количественного элементного 3D анализа изделий нано- и микросистемной тех

    — Установка контроля акустических шумов LPD-4000.BGW

    — Установка контроля герметичности с камерой опрессовки в гелии HLT-560-VC

    — Установка контроля топологии ЭМ-6329Р

    — Установка монтажа кристаллов методом флип-чип с возможностью эвлектич.пайки РР5/4

    — Установка монтажа кристаллов с возможностью эвтектической пайки PP5/2 (Cefor Ingenierie)

    — Установка напыления тонких пленок металлов SEGI-RFA3-4TR

    — Установка отмывки пластин ЭМ-3027

    — Установка плазменной очистки YES G500 Yield Engineering Systems

    — Установка резки пластин DAD3350

    — Установка соединения пластин и подложек Suss Microtech Substrate bonder SB6

    — Установка тестирования и Уз-сварки 5630

    — Установка тестирования микросистем UltraFlex (Teradyne)

    — Установка формирования шариковых выводов с возможностью термо- и ультразвуковой сварки выводов многоуровневых корпусов

    — Энергодисперсионный спектрометр Quantax XFlash 6 с модульной системой дифракции обратнорассеянных электронов QUANTAX CrystAlign 200

  • Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов
    перечень оборудования

    — Оптический микроскоп INM 100 в составе Программно-аппаратного комплекса для лаборатории анализа СБИС

    — Просвечивающий электронный микроскоп

    — Система с фокусированным ионным пучком FEI FIB 200 в составе Программно-аппаратного комплекса для лаборатории анализа СБИС

    — Установка вскрытия пластиковых корпусов интегральных микросхем в состава Программно-аппаратного комплекса для лаборатории СБИС

    — Установка реактивного ионного травления в составе программно-аппаратного комплекса для лаборатории анализа СБИС Model RIE-1C (Samco)

    — Электронно-ионный растровый микроскоп Helios NanoLab 650 (FEI)

    — Электронный растровый микроскоп XL 40 (Philips) в составе Программно-аппаратного комплекса для лаборатории анализа СБИС

  • Центр коллективного пользования научным оборудованием «Электронные приборы и оборудование»
    перечень оборудования

    — Анализатор спектра HM 5014 (Hameg)

    — Измеритель мощности 29S (Metra Hit)

    — Источник питания ИПР — 800

    — Калибратор термоэлектрический

    — Камера тепла-холода ТЭК — 50/60 (Тэриф-Н)

    — Многофункциональный лабораторный калибратор Wavetek 9100 (Fluke)

    — Мультиметр HP 34401A (Hewlett-Packard)

    — Мультиметр электротехнический Keithley-2001

    — Низкотемпературный термостат

    — Осциллограф OS-5030 (EZ Digital)

    — Осциллограф OX 8062 (Metrix)

    — Осциллограф TDS 3014 (Tektronix)

    — Прецизионный декадный магазин сопротивления Time Electronics-1067

    — Прецизионный термометр DTI-1000 (Ametek)

    — Прецизионный термометрический мост F-300 (Automatic Systems Laboratories)

    — Программируемый источник питания LPS — 300 (Motech)

    — Стабилизатор телекоммуникационной сети HM 6050-2 (Hameg)

    — Термометр электронный ТЭН-5 (Тэриф-Н)

    — Установка для проверки электрической безопасности GPI — 735 (Instek)

    — Электротехнический измеритель LCR-метр (Instek)


 


Новости университета

1
2
3

5

Больше новостей…

 

Ассоциация технических университетов
105005, Москва, 2-я Бауманская, 5
Тел.: +7(499)263-69-10, +7(499)263-68-67
Тел./Факс: +7(495)632-29-90
E-mail: ntbmstu@mail.ru
Схема проезда