Научно-исследовательская инфраструктура

Центры коллективного пользования

• Центр коллективного пользования уникальным научным оборудованием в области нанотехнологий
  перечень оборудования

  — Вакуумная напылительная установка MagSput-DC-RF (TOR)

  — Двухлучевой растровый электронный микроскоп Quanta 200 3D (FEI)

  — Зондовая станция для электрофизических применений SUMMIT 11000B-M (Cascade Microtech)

  — Принтер для прямой печати пассивных элементов Dimatix Materials Printer DMP-2831 (Fujifilm)

  — Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2100 (JEOL)

  — Растровый электронный микроскоп Qunta 200 (FEI) с системами комбинированного энергодисперсионного и волнового микроанализа, дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции

  — Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JSM-7001F (JEOL)

  — Рентгеновский дифрактометр ARL XTRA

  — Система плазмохимического травления с вакуумным шлюзом Trion

  — Сканирующий зондовый микроскоп Ntegra Prima (NT-MDT)

  — Спектрофотометр высокого разрешения HR4000 CJ-UV-NIR (Ocean Optics)

  — Установка атомно-слоевого осаждения, Picosun (R200 Advanced), (Picosun Oy)

  — Установка безмаскового совмещения и экспонирования MLA 100 (Heidelberg Instruments)

  — Установка импульсного лазерного осаждения PLD IVO-250-0.3-15 (Серния)

  — Установка химико-механической полировки ХМП ВТ 370

  — Установка электронно- лучевой литографии CABL- 9050C (CRESTEC)

  — Установка электронно-лучевого осаждения MEB 550 S (Plassys)