Научно-исследовательская инфраструктура

Центры коллективного пользования

• Микросистемная техника и электронная компонентная база
  перечень оборудования

  — 4-х кан. установка хим. осаждения из газ. фазы при пониж. давлении и плазм. активации SVFUR-PEH4

  — 4-х канальная печь SVFUR-AH4-1 . компания SVCS

  — 4-х канальная печь SVFUR-AH4-2 . компания SVCS

  — 4-х канальная установка хим.осаждения из газовой фазы при пониж.давлении SVFUR

  — Автомат разварки выводов 64000 G5

  — Вакуумная печь

  — Вакуумная электроннолучевая система для исследования морфологии, элементного состава и формирования рисунка изделий микросистемной техники на базе растрового электронного микроскопа JSM-6490LV

  — Времяпролетный вторично-ионный масс-спектрометр TOFSIMS-5-100 (IonTOF)

  — Высоковакуумная низкотемпературная система для исследования нанорельефа, электростатических, магнитных и тепловых свойств наноструктур методами ACM/CTM/MCM PlasmoScope-2M

  — Двулучевая система высокого разрешения FEL Quanta 3D FEG DEMO

  — Дифрактометр многофункциональный Rigaku SmartLab

  — Зондовая установка для тестирования микросхем в составе пластин UF200A TOKYO

  — Зондовая установка контроля электрических параметров Cascade Summit 12K

  — Камера климатическая программируемая Espeс MC-811P

  — Кластерная установка плазмохимического травления диэлектрических слоев

  — Комплект блоков и оснастки IE350 X-Max20 (Premium) для проведения энергодисперсионного микроанализа для электронного микроскопа JEOL JSM-6490LV

  — Комплект блоков и оснастки MK3 COOLSTAGE для проведения экспериментов при пониженных и повышенных температурах для растрового электронного микроскопа

  — Комплект блоков и оснастки XeDraw 2 для управления пучком и прецизионной засветки фоторезиста на поверхности полупроводниковых подложек для растрового электронного микроскопа

  — Контрольно-измерительный стенд для воспроизведения рельефа поверхности объекта и обеспечения высококачественного 3-х мерного компьютерного изображения (Оптический профилометр)

  — Лазерный конфокальный микроскоп VL 2000 DХ (Lasertech)

  — Линия герметизации корпусов методом роликовой шовной сварки с вакуумной печью и возможностью корпусирования в гелиевой среде

  — Микроскоп МИКРО2001-01

  — Оже-микрозонд PHI-670xi (Physical Electronics) в составе Специализированного программно-технического комплекса коллективного пользования для количественного элементного 3D анализа изделий нано- и микросистемной техники

  — Оптический микроскоп Vistec lNM100

  — Оптический микроскоп Vistec lNM100/DFC290 с цветной цифр.камерой

  — Оптический микроскоп Vistec lNM100/DFC290 с цветной цифр.камерой

  — Оптический микроскоп Vistec lNM200 UV высокого разрешения

  — Оптический микроскоп VL2000D высокого разрешения

  — Программно-аппаратный комплекс Vistec для проведения процессов с фотошаблонами размером 7 дюймов

  — Программно-аппаратный комплекс ДМТ-518 (Электроникс)

  — Программно-технический комплекс коллективного пользования для проектирования и испытаний систем-на-кристалле и сенсоров физических, биологических и химических (установка измерения поверхностного сопротивления quad pro)

  — Профилометр Alpha-Step D120 в составе Специализированного программно-технического комплекса коллективного пользования для количественного элементного 3D анализа изделий нано- и микросистемной техники

  — Проходная камера CK-581 (Multitest Elektronische System)

  — Рентгеноскопическая цифровая система контроля микросхем с функцией томографии

  — Система бесконтактного измерения температуры и теплового анализа SC5700 M (FLIR System)

  — Система лазерного разделения пластин со структурами, формируемыми по технологии 3D-сборки

  — Система обрезки и формовки выводов 5000L-F-3A-F-1A/4 Fancort Industries, Inc.

  — Система по изучению магнитооптического эффекта Керра Neoark BH-PI7892-KI

  — Система реактивно-ионного травления и обработки поверхности фотошаблона Corial 300S с дополнительными опциями

  — Система электрохимического формирования слоев металла в структурах 3D сборки

  — Сканирующее зондовое устройство для исследования морфологии, тепловых и магнитных полей изделий микросистемной техники на базе атомно-силового микроскопа Smart SPM фирмы AIST-NT

  — Сканирующий спектральный эллипсометр HORIBA UVISEL 2

  — Спектральное устройство для исследования оптических характеристик многослойных тонкопленочных структур на базе эллипсометра AutoSE фирмы Horiba

  — Стенд измерения и контроля параметров аналоговых микросхем и устройств ДМТ-219

  — Сухожаровой термошкаф

  — Технологический комплекс жидкостного травления и химической обработки кремния Mercury style (SCR) в составе: установки жидкостного травления SCP (9 ед.) и кислотные процессоры SCR Mercury style (2 ед.)

  — Технологический комплекс фотолитографии и оптического контроля EVG 150 в составе: установки контактной фотолитографии МА-150Е BSA, установки контактной фотолитографии и совмещения подложек МА6/ВА 6, установки контактной фотолитографии МА-150Е BSA, установ

  — Установка гидрообработки разделенных пластин

  — Установка для акустических исследований объемных структур KSI v-350lm

  — Установка для зондового контроля и анализа микросхем PM5

  — Установка для ионного травления и полировки Fischione Instruments Model 1060 SEM Mill в составе Специализированного программно-технического комплекса коллективного пользования для количественного элементного 3D анализа изделий нано- и микросистемной тех

  — Установка контроля акустических шумов LPD-4000.BGW

  — Установка контроля герметичности с камерой опрессовки в гелии HLT-560-VC

  — Установка контроля топологии ЭМ-6329Р

  — Установка монтажа кристаллов методом флип-чип с возможностью эвлектич.пайки РР5/4

  — Установка монтажа кристаллов с возможностью эвтектической пайки PP5/2 (Cefor Ingenierie)

  — Установка напыления тонких пленок металлов SEGI-RFA3-4TR

  — Установка отмывки пластин ЭМ-3027

  — Установка плазменной очистки YES G500 Yield Engineering Systems

  — Установка резки пластин DAD3350

  — Установка соединения пластин и подложек Suss Microtech Substrate bonder SB6

  — Установка тестирования и Уз-сварки 5630

  — Установка тестирования микросистем UltraFlex (Teradyne)

  — Установка формирования шариковых выводов с возможностью термо- и ультразвуковой сварки выводов многоуровневых корпусов

  — Энергодисперсионный спектрометр Quantax XFlash 6 с модульной системой дифракции обратнорассеянных электронов QUANTAX CrystAlign 200

• Диагностика и модификация микроструктур и нанообъектов
  перечень оборудования

  — Оптический микроскоп INM 100 в составе Программно-аппаратного комплекса для лаборатории анализа СБИС

  — Просвечивающий электронный микроскоп

  — Система с фокусированным ионным пучком FEI FIB 200 в составе Программно-аппаратного комплекса для лаборатории анализа СБИС

  — Установка вскрытия пластиковых корпусов интегральных микросхем в состава Программно-аппаратного комплекса для лаборатории СБИС

  — Установка реактивного ионного травления в составе программно-аппаратного комплекса для лаборатории анализа СБИС Model RIE-1C (Samco)

  — Электронно-ионный растровый микроскоп Helios NanoLab 650 (FEI)

  — Электронный растровый микроскоп XL 40 (Philips) в составе Программно-аппаратного комплекса для лаборатории анализа СБИС

• Центр коллективного пользования научным оборудованием «Электронные приборы и оборудование»
  перечень оборудования

  — Анализатор спектра HM 5014 (Hameg)

  — Измеритель мощности 29S (Metra Hit)

  — Источник питания ИПР — 800

  — Калибратор термоэлектрический

  — Камера тепла-холода ТЭК — 50/60 (Тэриф-Н)

  — Многофункциональный лабораторный калибратор Wavetek 9100 (Fluke)

  — Мультиметр HP 34401A (Hewlett-Packard)

  — Мультиметр электротехнический Keithley-2001

  — Низкотемпературный термостат

  — Осциллограф OS-5030 (EZ Digital)

  — Осциллограф OX 8062 (Metrix)

  — Осциллограф TDS 3014 (Tektronix)

  — Прецизионный декадный магазин сопротивления Time Electronics-1067

  — Прецизионный термометр DTI-1000 (Ametek)

  — Прецизионный термометрический мост F-300 (Automatic Systems Laboratories)

  — Программируемый источник питания LPS — 300 (Motech)

  — Стабилизатор телекоммуникационной сети HM 6050-2 (Hameg)

  — Термометр электронный ТЭН-5 (Тэриф-Н)

  — Установка для проверки электрической безопасности GPI — 735 (Instek)

  — Электротехнический измеритель LCR-метр (Instek)