Научно-исследовательская инфраструктура

Центры коллективного пользования

• Плазменные технологии микро- и нанопленок
  перечень оборудования

  — Q-pod контроллер датчика толщины/скорости напыления

  — Времяпролетный масс-спектрометр МСХ-6 (Селми)

  — Монохроматоры

  — Плазменная установка на основе магнетронного разряда с полым катодом

  — Плазмохимическая установка на основе СВЧ-ЭЦР разряда

  — Профилометр

  — Рентгеновский дифрактометр

  — Турбомолекулярные насосы

  — Фронтальный однокристальный датчик скорости напыления

  — Цифровой микроскоп PentaView с LCD-экраном (Celestron)

• Научно-образовательный центр «Функциональные микро/наносистемы»
  перечень оборудования

  — Анализатор размеров частиц лазерный дифракционный Microtrac Bluewave

  — Атомно-силовой микроскоп Solver NexT (НТ-МДТ)

  — ВВ камера для нанесения наноструктур на оптические покрытия

  — Векторный анализатор цепей с опциями

  — Гидравлический пресс для подготовки образцов TechPress 2 (Allied High Tech Products)

  — Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра Апрайт (НТ-МДТ)

  — Инфракрасный эллипсометр FTIR-Vase (J.A. Woollam Inc)

  — Комплекс для высокочастотных измерений сверхпроводящих СВЧ-структур на базе криостата растворения BF-LD400

  — Комплекс оборудования для оснащения учебных лабораторий в области инженерных и естественных наук по распределенным сенсорным системам (EvoVac, Angstrom Eng., Канада и 1300Х HMDS, Brewer Science, США).

  — Комплект оборудования для эллипсометрических и электрофизических измерений в составе: спектроскопический эллипсометр, полуавтоматическая установка ультразвуковой микросварки, установка для полуавтоматического контроля

  — Лазерный генератор изображения uPG101 (Heidelberg)

  — Междисциплинарная научно-учебная лаборатория электронно-оптической микроскопии FEI Phenom

  — Прецизионный отрезной станок Allied techcut 5 (Allied High Tech Products)

  — Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс (НТ-МТД)

  — Сверхвысоковакуумный сканирующий зондовый микроскоп с комплектом эл-в JSPM-4610А (JEOL)

  — Система сверхвысоковакуумная для проведения послойного анализа выращенных гетероструктур (Specs)

  — Стенд для формирования многослойных коммутационных структур на полупроводниковых термоэлектрических ветвях методом лазерного 3D принтинга на базе лазерной системы Фотон-компакт

  — Стенд измерительного прецизионного измерения изменений массы MSA225S-100-DI

  — Стенд экспериментальный для участка микрофлюидики в комплекте Dolomite

  — Стенд экспериментальный на базе стереомикроскопа (Elveflow)

  — Стенд экспериментальный плазменной очистки и активации поверхности в среде инертных газов модель Pico (Diener Electronic)

  — Стереомикроскоп Leica ES 2 (Leica Mirosystems)

  — Тепловизор A655sc c германиевым объективом (FLIR)

  — Тигельный пресс-рекомбинатор горячего тиснения РЕ-1200 (MNHS)

  — Установка бондинга SussMicroTec SB8 Gen2 (SussMicro Tec)

  — Установка для нанесения твердых покрытий вместе с технологией Platit pi-80

  — Установка инспекции поверхности в ИК-свете WBI200 (Idonus Sarl)

  — Установка контактной литографии и совмещения для бондинга MA/BA8 Gen3 (SussMicro Tec)

  — Установка нанесения и сушки фоторезиста CEE 200CBX (Brewer Science)

  — Установка сушки и дубления фоторезиста CEE 1300X (Brewer Science)

  — Устройство для вакуумной упаковки пакетов AZ-450E (AirZero)

  — Шлифовально-полировальный станок П12М (Полилаб)

• Центр физико-механических испытаний древесины
  перечень оборудования

  — Весы лабораторные RV 313 (Adventurer)

  — Весы лабораторные RV-153 (Adventurer)

  — Деревообрабатывающий станок GYMJQ 342 (Schopfer)

  — Измеритель влажности древесины CHY-690 (Firemate)

  — Испытательная машина Fritz Heckert 100 (FRITZYECKERT)

  — Испытательная машина Instron 3369 (Instron Corporation)

  — Стереоскопический микроскоп МС-1 (Биомед)

  — Сушильный шкаф СНОЛ 67/350

Уникальные научные установки

• Кластер экспериментально-диагностических модулей «Пучок-М»
• Экспериментально-диагностический стенд для исследований деградации материалов в условиях воздействия факторов космического пространства МКФ-3М
• «Уникальный стенд, воспроизводящий имитацию термического и силового воздействия на активном участке полета ракеты с использованием энергосберегающих технологий»
• Уникальный стенд, сочетающий механо- и термоактивационное воздействие и методы нанодиагностики физико-химических свойств с высокоскоростной системой регистрации быстропротекающих процессов